(1) Pre-PVD Behandlung, dorënner Botzen vun Elementer a Pre-Behandlung.Spezifesch Botzenmethoden enthalen Detergentreinigung, chemesch Léisungsmëttelreinigung, Ultraschallreinigung, an Ionbombardementreinigung.
(2) Setzt se an den Ofen, dorënner Vakuumkammerreinigung an Armaturen, an d'Installatioun, d'Inbetriebung an d'Verbindung vun Artikelen an Armaturen.
(3) Vakuuming, allgemeng pompelt op 6.6Pa oder méi, öffnen d'Front vun der Diffusiounspompel virdru fir d'Vakuumpompel z'erhalen an d'Diffusiounspompel z'erhëtzen.Nodeems d'Virheizung genuch ass, gëtt den héije Ventil opgemaach an op e 6 x 10-3 Pa hallef ënnen Vakuum mat enger Diffusiounspompel gepompelt.
(4) Baken, baken d'Elementer op déi gewënscht Temperatur.
(5) Ion Bombardement, de Vakuum ass allgemeng 10 Pa bis 10-1 Pa, d'Ion Bombardement Spannung ass eng negativ Héichspannung vun 200 V bis 1 KV, an d'Attackzäit ass 15 min bis 30 min.
(6) Pre-Schmelzen, Upassung vum Stroum fir d'Material ze schmëlzen, de Stroum unzepassen fir d'Platéierung virzeschmëlzen an d'Entgasung fir 1min ~ 2min.Verdampfung Oflagerung.Den Verdampungsstroum gëtt ugepasst wéi néideg bis déi gewënscht Oflagerungszäit eriwwer ass.Ofkillen, d'Elementer ginn op eng gewëssen Temperatur an der Vakuumkammer gekillt.
(7) Nodeems d'Elementer erausgeholl ginn, ass d'Vakuumkammer zougemaach, de Vakuum gëtt op l × l0-1Pa evakuéiert, an d'Diffusiounspompel gëtt op déi zulässlech Temperatur ofgekillt, ier d'Wartungspompel an d'Kühlwasser ausgeschalt ginn.